作者
邓 鑫
文章摘要
集成电路厂房属于特殊的建筑工业厂房，建筑能耗高，且对洁净度、温度、湿度、压差、静电以及气态分子级污染物等有着较高的要求。本文主要阐述暖通系统根据环境因素对机组进行控制。随着洁净室暖通行业的发展，采用高效机组以及高效风机盘管等高效节能的暖通设备。对暖通空调节能设计在集成电路厂房中的应用进行探索，提出一些具体的设计应用方法与措施，使暖通空调设计节能效果得到提高，从而降低厂房运行能耗，节约更多集成电路生产成本，推动集成电路生产行业实现更好发展。
文章关键词
半导体洁净室；暖通系统；高效风机盘管
参考文献
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