研发生产型的光电子器件洁净厂房暖通系统设计探讨-期刊刊文-新加坡图文科学出版社官网

研发生产型的光电子器件洁净厂房暖通系统设计探讨

ISSN：2811-0536(P)

EISSN：2811-0803(O)

语言：中文

作者

郭蓉

文章摘要

通过对某研发生产型光电子器件洁净厂房的暖通动力系统的阐述，结合此类型研发生产型洁净厂房的特点，探讨最适合的暖通空调及冷热源系统设计要点及节能措施。

文章关键词

光电子器件；百级光刻间；洁净度、低湿；自动控制；节能

参考文献

[1] 中华人民共和国住房和城乡建设部.GB 50073-2013 洁净厂房设计规范[S].2013. [2] 中华人民共和国住房和城乡建设部.GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范[S].2008.

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